株式会社フォトンプローブ
最終更新日:2019-07-18 11:48:00.0
バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
基本情報バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定
光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器
【特徴】
○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得
取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める
○非接触かつ高精度に計測
○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単
○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応
○変位量分解能:1nm(HV400使用時)、10nm(HV250使用時)
○圧力測定分解能:0.1Torr
○最大付加圧力:-300Torr
○最大試料径:15cm
○測定領域試料最大径:50mm
○測定モード:全自動モードまたはマニュアルモード
○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性
応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定
光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器
【特徴】
○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得
取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める
○非接触かつ高精度に計測
○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単
○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応
○変位量分解能:1nm(HV400使用時)、10nm(HV250使用時)
○圧力測定分解能:0.1Torr
○最大付加圧力:-300Torr
○最大試料径:15cm
○測定領域試料最大径:50mm
○測定モード:全自動モードまたはマニュアルモード
○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性
応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
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