チタン合金による真空チャンバー技術

チタン合金を真空チャンバーや真空部品の材料に用いることにより、非常にガス放出の小さい真空システムを可能にする技術を開発いたしました。これにより素早く、簡単に超高真空/極高真空を得ることが可能になりました。
チタンはもともと真空への応用に適した素材です。軽量、完全非磁性、低熱膨張率、低熱容量、などなど多くの利点を有しています。我々の技術は、この本来優れたチタン材に、さらに真空応用にとって重要な特性を付け加えました。

表面処理技術の開発により、ガス放出をステンレスに比べ2桁ないし3桁減少させることができました。これにより、非常に高速に超高真空への排気が可能です。
特殊なチタン合金の開発により、ステンレスに比較して強度、硬度ともに高く、超高真空に不可欠なCFフランジが可能になりました。
製造技術の開発により、従来困難であったチタンの溶接やロー付けが信頼性良く可能となりました。これにより、様々な複雑形状の真空チャンバーや真空部品の製造が可能になりました。
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