流量計　液体用マスフローメータ/コントローラ　「μ-FLOW」

ウルトラローフローレンジ用に開発さた流量計

液体用マスフローメータ（流量計）/コントローラ「μ-FLOW」は、ウルトラローフローレンジ用に開発された液体マスフローメータ/コントローラです。計器の測定原理はサーマル式でスルーフロー型です。制御ループを構成するのにフローメータと調節弁が連結されます。流量制御は液体流量計と調節弁を一つのボディーにインテグラルすることにより完成されます。調節弁にはパージ機構が付いておりスタートアップ時トラップしているガスや空気を除去するのに使用されます。制御機能がフローメータの標準回路に内臓されています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。