マスフローコントローラAeｒa　PI-980シリーズPI-980

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を
予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー
コントローラです。

優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、
生産歩留まりを改善します。

また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも
対応します。

【特長】
■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能
■高い計測精度と再現性
■IGS方式対応
■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
■フィールドでのプログラムが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Aera FC-DR980』は、優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する
デジタルマスフローコントローラです。

高品質の電子部品と耐久性に富む設計により、過酷な操作に耐え、1年以上
経過してもフルスケール流量の0.5％以下という優れた長期的ゼロドリフト
安定性を発揮します。

【特長】
■アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択可能
■ピエゾ制御バルブ
■各種のアラーム/診断機能
■使用ガスおよび流量レンジの選択可能
　※マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応

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『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な
アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。

当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに
高い再現性を誇ります。

優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが
向上します。

【特長】
■マルチガス・マルチレンジ
■高速応答性
■100％メタルシール・高純度設計
■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応

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『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、
メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。

主要なガス制御アプリケーションに適しています。

⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、
優れた制御性を発揮します。

【特長】
■耐腐食設計
■メタルシール採用
■VCR、Swagelok互換の接続部
■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ
■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ

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『Aera FC-R7700シリーズ』は、さまざまなアプリケーションにおいて
フィールドで活躍するマスフローコントローラです。

高精度の流量制御に実力を発揮するとともに、ゴムシールの採用により
経済性を向上しています。

また、高速応答性で、設定値入力後2秒未満で流量が安定します。

【特長】
■エラストマー(ゴム)シール
■VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部
■10sccm〜200slmのフルスケール流量レンジ
■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
■1.0x10-7Pa・m3/sec(He)以下の外部リークレート

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