分光エリプソメータ

日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。

薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N,K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。

【測定可能な物理特性】
■厚さ光学屈折率
■屈折率の勾配と材料組成
■ドーパント濃度 （詳細を見る）

『SE-2000』は、薄膜の膜厚・屈折率を“非接触”で高精度に測定できる回転補償子型の分光エリプソメータです。
ユーザーフレンドリーな解析ソフトを備えており、解析作業が容易。
深紫外から近赤外領域まで幅色い波長領域の測定に対応しています。

材料の組成比、異方性、Mueller Matrix、偏光解消度、反射率・透過率、ドーパント濃度、
リタデーション(R0、Rth)などに関する検査にも対応しており、幅色い用途で活用可能です。

【特長】
■高精度CCD、高分解能PMT搭載　　　■光学モデルのデータベースが豊富
■多彩な拡張オプション　　　　　　　■販売実績が多数

〈　セミナー詳細　〉
■テーマ：分光エリプソメータ 解析モデル作成手順の説明～初級編～
■開催日時
・4/22(木) 10:00～
・5/13(木) 16:00～
■内容
一般的な構造のサンプルを例にして、解析モデルの作成手順をご説明します。
有効媒質近似モデル、Cauchyモデル、Tauc-Lorentzモデルを使用した解析の説明。

※参加方法は、当社ホームページ（下記リンク）でご確認ください。 （詳細を見る）