株式会社エイエルエステクノロジー
最終更新日：2015-07-15 12:00:26.0
周辺機器 真空プローバーシステム
基本情報周辺機器 真空プローバーシステム
研究用真空装置の製造販売、真空装置の改造などを行っている、株式会社エイエルエステクノロジーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
プローバー真空チャンバー部分は内寸Φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と大き目に設計しておりますので冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能になるのが特徴の「周辺機器 真空プローバーシステム」
周辺機器 真空プローバーシステム
当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム
『周辺機器 真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。
【特徴】
○真空チャンバー部分は内寸φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と
大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能
○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ）
○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）：3ポート
○真空排気ポート（NW40)：1ポート
○プローブ移動機構：X-Y-Zステージ 移動量±5ｍｍ
目盛り付き移動シール部 真空ベローズ
○プローブ先端金具：先端部首振り可能（ねじ固定式）
○探針：タングステン針（先端25μｍ）
○試料台寸法：φ70ｍｍ接地型
○最大基板：口30ｍｍ
○高真空バルブ：NW40アングルバルブ （詳細を見る）
取扱会社 周辺機器 真空プローバーシステム
■研究用真空装置の製造販売 ・有機EL研究用蒸着装置 ・昇華精製装置 ・キャリアボックス ・試験用チャンバー ・スパッタリング装置 ・UHV排気装置 ・特注真空装置 ・特注真空応用部品 ・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売 ・ULVAC社の扱う真空部品などの販売 ・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計 等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売 （東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務 ・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス） 蒸着ボートの販売
周辺機器 真空プローバーシステムへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
