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最終更新日:2020-12-23 10:24:33.0

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バレルタイプ減圧プラズマ処理装置 PBシリーズ (真空プラズマ装置)

基本情報バレルタイプ減圧プラズマ処理装置 PBシリーズ (真空プラズマ装置)

等方性プラズマを利用 微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最適!

バレルタイププラズマ処理装置「PBシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物や油分の除去(Ashing)、珪素化合物(SiO2,SiN)のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液(Wet)を使用すること無く行える装置です。良環境性(クリーンな作業環境、無廃液)と低ランニングコストを実現します。
対象物の形状に因らず全方向から処理が進行し、ミクロンオーダーの微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ)
■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能)
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ

バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ 製品画像

バレルタイププラズマ処理装置「PBシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去(Ashing)や油分の除去(Cleaning)、珪素化合物(SiO2,SiN)のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液(Wet)を使用すること無く行える装置です。良環境性(クリーンな作業環境、無廃液)と低ランニングコストを実現します。
全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ)
■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能)
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る

応用例付きプラズマ技術資料 無償ダウンロード!

応用例付きプラズマ技術資料 無償ダウンロード! 製品画像

当社の「プラズマ表面処理技術」をまとめた技術資料を無償配布中です。

プリント基板、フィルム、樹脂、粉体、医療、半導体後工程といった
分野を問わず活用できるプラズマ装置。

剥離、有機物除去、表面改質・洗浄など幅広い分野に活用できる技術を
用途例と合わせて解説しています。

【応用例の概要】
■フッ素系樹脂への親水化処理
■プリント基板のデスミア処理
■金属ナノインクへの低温プラズマ焼結
■粉体の表面改質処理
■人工骨への生体親和処理

※下記「ダウンロード」より、すぐにご覧頂けます。お問合せもお気軽に! (詳細を見る

サンプル形状を選ばず、自由に処理!バレルタイプ プラズマ処理装置

サンプル形状を選ばず、自由に処理!バレルタイプ プラズマ処理装置 製品画像

バレルタイププラズマ処理装置「PBシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去(Ashing)や油分の除去(Cleaning)、珪素化合物(SiO2,SiN)のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液(Wet)を使用すること無く行える装置です。良環境性(クリーンな作業環境、無廃液)と低ランニングコストを実現します。
全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ)
■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能)
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

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取扱会社 バレルタイプ減圧プラズマ処理装置 PBシリーズ (真空プラズマ装置)

株式会社電子技研

・真空プラズマ処理装置、貼り合わせ等各種真空装置、洗浄等各種WET処理装置、CV等のマテハン装置他、各種装置の開発・設計・製造・保守 ・プラズマ処理プロセス開発 ・プラズマ処理受託 ・温調器(チラー)修理、オーバーホール ・他社各種装置の立上、保守メンテナンス請負、派遣 ・工場内設備保守/保全請負、派遣 ・工場内備品販売

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