アールエムテック株式会社
最終更新日：2019-09-19 16:26:12.0
カフマン グリッドレス イオンソースアッセイ
基本情報カフマン グリッドレス イオンソースアッセイ
KRI社製エンドホールイオンソース
KRI社製エンドホール型イオンソース
・大電流、低電圧イオンビームよるアシスト成膜、プレクリーニング
・チャンバー内部に中置可能のため、既存機への後付け可能
・長時間プロセス用にフィラメントではなくホロカソードタイプ対応
・樹脂基板成膜用に水冷タイプ対応
カフマン グリッドレス(エンドホール型) イオンソース
The compact low profi le eH series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&D and high yield production requirements.
Large ion beam currents meet critical arrival ratios for high deposition rate processes.
Low energy ions minimize ion bombardment damage to surfaces and interfaces.
The broad divergent beam improves throughput by uniformly covering a wide deposition zone.
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取扱会社 カフマン グリッドレス イオンソースアッセイ
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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