コンパクトスパッタ装置　SC-701MkII ADVANCE

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応　真空計装備で成膜条件の再現性を確保

「SC-701MkII ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックなコンパクトコーターです。
DCスパッタのカテゴリーの内で、シリーズ最小の超コンパクトモデルです。真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保します。専用試料台とステージで簡単にT-S間距離が変えられます。

【特長】
■真空計装備で成膜条件の再現性を確保
■小型でコンパクトながらハイスペック
■手動式シャッター標準装備
■タングステンコートが可能
→高分解能SEM用試料作製にも利用可

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