サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

電子線描画装置用パターン発生装置 SPG‐724は、半導体を製造するためのものではなく微細回路・微小光学部品・ナノマシンの研究開発を行うためのものです。
電子線発生と偏向は、SEMそのもので行っています。SPC‐724をSEMに取付けることで、観察用のSEMが描画装置になるわけです。
SEM本体の他に必要なものは、ビームのオンオフを行うブランキング装置、露光量を測定するための電流計、描画パターンをブランキング装置や偏向器におくるパターン発生器とそれらを制御するコンピュータとなります。

【特徴】
○アドオンスタイルのEBリソグラフィ用パターン発生装置
→様々なタイプのSEMに取付けることが可能
○市販CADの採用により浮かんだアイデアをすぐ形にできる使いやすさ
○電子線描画専用機を扱うときのような専門知識/熟練技術が不要
→どなたでも気軽にパターンをつくることができる
○広域エリア(最大5mm)の一括露光を実現

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1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。

SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸着装置は、大学や公的研究機関の各研究室、民間企業の開発担当の方々に好評いただいております。

また、SEM用の引張(疲労)試験装置や電子線描画装置などの電子顕微鏡関連機器の取り扱いもございます。

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