アールエムテック株式会社
最終更新日：2019-09-19 16:49:10.0
アールエムテック サービス案内
基本情報アールエムテック サービス案内
マザーテクノロジーで未来を拓く アールエムテック サービスご紹介
【取扱い製品紹介】
●サップコールド フロン規制対応冷凍機
●GCIB（ガスクラスターイオンビーム）
GCIB技術とは、 数十〜数万個の気体原子よりなるクラスターをイオン化し、 適度なエネルギーに加速して、被加工物に照射する技術で、同技術を用いた低エネルギーイオン注入や、高品位成膜・表面平滑化が実証されています。
●Multiple APC
高い安定性と幅広い互換性を兼ね備えたオート・プレッシャー・コントローラー
●DP-eco
電気代の削減で環境に優しいDP用省エネ・ユニット
●イオンビームエッチング/スパッタリング装置
使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置
●真空成膜装置 VACCUM COATING
・SAPIO1300
高再現性・高性能・高安定性・低タクト化を実現
・SPS-208CW
小型AR用スパッタリング、省エネスペースとラインの無人化を可能
●消耗品
●薄膜材料
●KRI社製イオンソース
●真空ポンプOH
◎詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
アールエムテック サービス案内
【取扱い製品紹介】
●温度信頼性試験装置
ハイタオ製サーマルショック装置は温度信頼性試験環境として
－55℃→＋125℃まで10秒で昇温
＋125℃→－55℃まで16秒で降温
急速温度変化環境を提供します。
●サップコールド
弊社相模原サービスセンターにて全数出荷前検査を行い日本、台湾、中国、東南アジアに出荷しています。
フロン排出規制に対応した冷凍機のため、既存設備からの載替を行っています。
●GCIB（ガスクラスターイオンビーム）
数十〜数万個の気体原子よりなるクラスターをイオン化し、適度なエネルギーに加速して照射する技術です。低エネルギーイオンエッチング、高品位成膜・表面平滑化が実証されています。
●Multiple APC
高い安定性と幅広い互換性を兼ね備えたオート・プレッシャー・コントローラー
●DP-eco
電気代削減で環境に優しいDP用省エネ・ユニット
●イオンビームエッチング/スパッタリング装置
お客様仕様に合わせて設計致します。
小型実験機～CtoC量産装置に対応。
●消耗品
●薄膜材料
●KRI社製イオンソース
DC、RF、エンドホール （詳細を見る）
取扱会社 アールエムテック サービス案内
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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