小型実験用イオンビームエッチング装置

使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置 【デモテスト】相模原サービスセンターにて実施中

「小型実験用イオンビームエッチング装置」は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載した装置です。
Au、Pt、磁性材等を容易にエッチングし、テーパー加工も簡単にできます。基板表面温度80℃以下での処理が可能です。
微細加工に最適です。

【特徴】
●有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要
●エンドポイントディテクター搭載可能
●イオンビームエッチング装置、イオン源、イオンビーム技術の
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