ウエハー非接触搬送　ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。
搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。
本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。

【特徴】
○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択
○対応インチのガイドリングを変えれば2～12インチまで使用可能
○本体部導電性ナイロン樹脂の採用により軽量化
○両面にパターン印刷があり、50µmの薄く取扱いの難しいウエハーに対応
○角型など対象物に合せた特注設計品にも対応

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