超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。

【特長】
○超薄型構造・低重心
⇒３軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制
○高精度な位置決め
　⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無
○高剛性
　⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に
　　対し剛性が高い構造です。


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