「クリーン設備関連機器」カタログ

局所クリーン化で作業空間を革新！

当社のパネル式クリーンブースは、オリジナル成型のアルミフレームを使用し、フレキシブルなブース設計・施工が可能です。清潔感のある透明パネルで、美観性に優れたデザインが可能です。

使用環境・用途に合わせたオーダーメイド設計＆施工致します！ （詳細を見る）

HEPAフィルターユニットを搭載した簡易型クリーングローブボックスです。
当社オリジナル成型のアルミフレームと制電塩ビパネル製です。
底面抜きのテーブルトップタイプで、実験作業台などに置くだけで簡単に設置して使用できます。

使用環境・用途に合わせてオーダーメイド致しますので、お気軽にお問合せください！ （詳細を見る）

ラボクリーンベンチ「LCB-1000」は、コンパクトなラボ向け製品です。
バイオラボ向けにも最適な製品です。

特徴｜
● コンパクトなラボ向けクリーンベンチです。
● 殺菌灯付で作業空間の清浄度を保ちます。
● ファンの強弱切替が可能です。
● 風量を調整用スリットでコントロールできます。

※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

▼ アルミフレームを使用した簡易型クリーンベンチです。
▼ 軽量のため、持ち運びが簡単です。
▼ 作業台上のクリーン環境確保に最適です。
▼ 作業に合わせて、扉の位置を50mmピッチで固定できます。

作業台として、サイズを合わせたカートも取り扱っております。
架台のオーダーメイドも承ります。
お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

クリーンブースとして必要な機能は落とすことなく、コスト削減と利便性を実現しました！

▼ノックダウン方式で簡単に組立、分解ができます。
▼ジョイント部分も分解できますので、移設作業も簡単です。
▼簡単な清浄域確保や、装置カバー等に最適です。
▼導電性パイプを使用し、静電気対策にも対応した構造です。

サイズ、清浄度、カーテン素材、蛍光灯など、オーダーメイドで対応いたします。
お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

▼ノックダウン方式で簡単に組立、分解ができます。
▼ジョイント部分も分解できますので、移設作業も簡単です。
▼簡単な清浄域確保や、装置カバー等に最適です。
▼導電性パイプを使用し、静電気対策にも対応した構造です。

サイズ、清浄度、カーテン素材、蛍光灯など、オーダーメイドで対応いたします。
お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

静電ロールカーテン式の排気フードです。オーダーメイドで製作するため、ご希望のサイズや用途に応じてカスタマイズすることができ、安全で快適な作業環境を実現します。

【特長】
■静電カーテンやガイドレールなど細かな工夫
■耐薬品・紫外線カット・暗室仕様など用途に応じた素材を使用
■発生するガスの性質に応じた排気方法を採用（天面排気・背面排気）

※「クリーンベンチ・排気フードのオーダーメイド」の製品カタログは、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

特徴｜
● クリーンモジュールユニットを搭載し庫内をクリーンに保ちます。
● レチクルケースをクリーン環境で保管できます。
● 収納するレチクルケースの段数や列数に合わせて、オーダーメイドでの製作も可能です。
　 お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

クリーン設備機器関連製品　マスク保管庫

●下部ローラーに耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンを使用しています。

●背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。

●詳しくはお問い合わせください。

 （詳細を見る）

クリーン設備機器関連製品　マスク保管庫

【仕 様】
〇外 形 寸 法:W1104×525×H1191
〇棚 板 枚 数:4枚
〇フィルター:クリーンモジュールユニット1台
〇集 塵 効 率:99.97%以上0.3μm
〇風 量:3.4/4.5m3/min
〇 扉 :マグネットパッキン式
〇本 体:SUS304 ミガキ
〇前 面:帯電防止塩ビ
〇棚 板 材 質:スライド溝付 超高分子ポリエチレン
〇本 体 枠 材 質:アルミニウム アルマイト処理

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クリーン設備機器関連製品　レチクル保管庫は、レチクル保持具に、耐摩耗性に優れた超高分子ポリエチレンを使用しています。背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。レチクルケースの形状に合わせて、保持具は製作いたします。外形寸法はW1140×D673×H1430mm、一室間口はW510×H330mm、収納枚数は60枚です。フィルターはクリーンモジュールユニット1台で、集塵効率は99.99％以上 0.3μmです。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

特徴｜
● ファン・HEPAフィルター・バッテリーが一体型で、取り付けが簡単なクリーンユニットです。
● バッテリー搭載により、搬送ワゴンの常時クリーン化や、停電時にも対応できます。
● お手持ちのワゴン等に接続してご使用いただけます。 （詳細を見る）

特徴｜
● バッテリー式クリーンユニットを搭載した搬送ワゴンです。
● クリーンルーム間での製品搬送に便利です。 （詳細を見る）

クリーン設備機器関連商品　8”ウェハ搬送ワゴン W-8は、クッション性が良く、安定に搬送できます。載置作業性が抜群で静電・耐震対策も充分に考慮してあります。クリーン環境を乱さず、収納場所が最小に。ウェハの歩留りが向上します。外形寸法はW640×D350×H1120（補助用載置台取付時：W930）、本体材質はSUS304、本体重量は13kgです。※保護用ボックスは商品に含まれません。オプションで補助用載置台と倒壊防止具をご用意しております。6″8″12″と、種々の保護用ボックス搬送ワゴン特別製作を承ります。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

特長｜
◍ FFU（クリーンモジュールユニット）
　天面に取り付けたFFUを通して清浄空気を送り込むことで、内部をクリーンな環境に保ちます。

◍ ホッパー
　排気ダクトに接続が可能です。
　別途集塵機を設けることで、作業で発生したチリを排出できます。

◍ ロールカーテン
　任意で高さ調整が可能です。

◍ 作業面
　作業面は中央部がパンチング構造になっています。 （詳細を見る）

クリーンブースとして必要な機能は落とすことなく、コスト削減と利便性を実現しました！

▼ノックダウン方式で簡単に組立、分解ができます。
▼ジョイント部分も分解できますので、移設作業も簡単です。
▼導電性パイプを使用し、静電気対策にも対応した構造です。
▼簡単な清浄域確保、光学実験・検査、バイオ実験・検査に最適です。

サイズ、清浄度、カーテン素材、蛍光灯など、オーダーメイドで対応いたします。
お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

クリーンベンチ・排気フードのオーダーメイドは、ご希望のサイズに合わせてフルオーダーメイドで製作するクリーンベンチ・排気フードです。局所クリーン化で安全・快適な作業環境を実現します。
異物混入の防止、実験精度の向上、作業環境改善に貢献します！

【特長】
■ご希望のサイズに合わせてフルオーダーメイド
■耐薬品・紫外線カット・暗室仕様など用途に応じた素材を使用
■陽圧・陰圧の気流制御、温湿度制御のご要望にも対応

※「クリーンベンチ・排気フードのオーダーメイド」の製品カタログは、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

クリーンストッカーは、貴重な商品・部品等をクリーン環境で保管します。
扉は開閉が簡単なマグネットパッキン式です。棚板をスライドレール付等多種多様に増設でき、棚板間隔も自由自在です。保管物によって棚板は、穴付、穴無、スライドレール付、超高分子材のガイドレール付、耐荷重対策等、目的にあわせて多用途にご使用下さい。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

● 洗浄ボックス内でイオン化エアーをワークに吹き付け、埃と静電気を同時に除去します。
● 圧縮エアーノズルで上から吹き付けるため、短時間での除塵・除電が可能です。
● エアーブローはセンサーで自動で自動的に作動します。
●ノズル性能が向上し、ブローが強力になりました。
　旧型番 EGX-350N：Max0.4MPa 228NL/min
　→EGX-350Y：Max0.6MPa 520NL/min
●ノズル異常時の警報表示機能（赤ランプ）を追加しました。
● 除去した埃はHEPAフィルターで捕集するため、室内の空気を汚染しません。
●装置単体でもブロー圧力の調整が可能です。 （詳細を見る）

クリーンベンチ・排気フードのオーダーメイドは、ご希望のサイズに合わせてフルオーダーメイドで製作するクリーンベンチ・排気フードです。局所クリーン化で安全・快適な作業環境を実現します。
異物混入の防止、実験精度の向上、作業環境改善に貢献します！

【特長】
■ご希望のサイズに合わせてフルオーダーメイド
■耐薬品・紫外線カット・暗室仕様など用途に応じた素材を使用
■陽圧・陰圧の気流制御、温湿度制御のご要望にも対応

※「クリーンベンチ・排気フードのオーダーメイド」の製品カタログは、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。 （詳細を見る）

『オーダーメイド　クリーンブース』は、“一人分の作業スペースから工場全体まで”、“クラス10～100000までの清浄度”をはじめ、自立型・トンネル型・吊天井型など、あらゆるニーズに合わせて設計可能なオーダーメイド品のクリーンブースです。

材質もアルミフレーム・ステンレス・スチール材など、ニーズに適したものでカスタマイズが出来ます。また、設計から施工まで全てを当社で行うため、スピーディかつスムーズな対応が可能です。

【特長】
■清浄度や広さを用途・場所に合わせて自由にカスタマイズ可能
■工場・研究室の既存空間、空きスペースを簡単にクリーン環境化
■高い清浄度が求められる半導体業界で培った豊富なノウハウ

※製品の詳細はカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

● クリーン化されたロッカー内で無塵衣、ブーツ、シューズを保管できます。
● 扉は観音開きでマグネットパッキン式で、片手で簡単に開閉できます。
● 大きさ、清浄度などの設計変更にも対応します。

詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

● クリーン化されたロッカー内で無塵衣を保管できます。
● 無塵衣の出し入れは、カーテンの開閉で簡単に行えます。
　 カーテン材質：帯電防止塩ビ 透明
● カーテンは左右開きのため、省スペースです。

詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

パスボックスは、片側のドアが開いているときは他方のドアはロックされ、外部空気のクリーンルームへの流入が防止できるインターロック装置付です。ガラス窓 (透明ガラス) でパスボックス内部が確認できます。 （詳細を見る）

当社のカーテンブースは、静電気の発生を抑える帯電防止シートを採用し、透明で清潔感のある仕上がりです。
シートは加工性に優れており、設置条件や用途に合わせて柔軟に対応できます。またシートは難燃性で安全性にも配慮しています。

オーダーメイドを基本としておりますので、様々な仕様にお応えいたします。
【サイズ・カーテン材質・パネル材質・クリーン度・温湿度管理・LED・キャスターなど】

お気軽にお問い合わせください！ （詳細を見る）

▼ノックダウン方式で簡単に組立、分解ができます。
▼ジョイント部分も分解できますので、移設作業も簡単です。
▼導電性パイプを使用し、静電気対策にも対応した構造です。

サイズ、清浄度、カーテン素材、蛍光灯など、オーダーメイドで対応いたします。
お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

当社のクリーンブースが採用された断熱パネル式クリーンブースの施工実績を紹介します。

高い気密性や精密な空調管理が必要な場合には、断熱パネルを使用したブースを施工します。
美観性にも優れますので、ブースをしっかりと管理したい場合等に適しています。
研究室・開発室といったスペースのクリーン化によく導入されます。

【実績】
■製品：断熱パネル式クリーンブース
■特長：高い気密性や精密な空調管理に最適
　　　　優れた美観性

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

クリーンブースに空調ユニットを組み合わせた製品です。
ブース内の温湿度は設置環境に左右されます。独立した空調ユニットで温湿度コントロールを行うことで、ブース内の使用環境改善を行えます。

point1：温湿度の制御
独立した空調ユニットで温度・湿度のコントロールを行い、ブース内の環境改善ができます。一般空調から恒温恒湿まで用途に合った空調制御が可能です。

point2：空調機の選定
ワンパス式で温湿度制御が可能です。周囲環境によっては循環式をご提案し、最適な精密空調機の選定を行います。

point3：材質の選定
設定温度や湿度によって、ビニールカーテンや断熱パネル等の最適なご提案をいたします。 （詳細を見る）

▼ アルミフレームと帯電防止ビニールシートを使用した簡易型クリーンベンチです。
▼ 軽量のため、持ち運びが簡単です。
▼ 作業台上のクリーン環境確保に最適です。
▼ 作業に合わせて、扉の位置を上下できます。

作業台として、サイズを合わせたカートも取り扱っております。
架台のオーダーメイドも承ります。
お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）