小型均一・平行露光光源装置　UVEシリーズ

UVEシリーズは、超高圧水銀ランプ250W～2000Wまで高性能インテグレーターを使用し、コリメーターレンズを通してワーク面にUV光を均一照射させることができます。
多種の照射径ユニットを取り揃えております。（100～400ｍ/ｍΦ）
※その他大面積はご相談下さい。

また、各種フィルター等もご要望によりご提案致します。
用途として、半導体ウェハ、水晶発振子等の電子部品の露光、マスクアライナー用光源、各種光学、露光実験装置として幅広く利用して頂いております。

【特徴】
○ハィパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計
○高安定・長寿命・オゾンレスランプ使用
○用途に応じた照射波長域の選択が可能
○自動化ラインに対応する豊富なリモート機能
○万全なノイズ防止対策

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