高精度リニアステージ『ハイブリッド・ヘキサポッド』シリーズ

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基本情報高精度リニアステージ『ハイブリッド・ヘキサポッド』シリーズ

精度向上に貢献！高精度・高剛性・長ストロークのリニアステージ

『ハイブリッド・ヘキサポッド』シリーズは、
高精度・高剛性・長ストロークのリニアステージです。

XYステージ、θステージ、トライポットを組み合わせることにより、
ガタの大きかったベアリングを排除。長ストローク化も実現しました。

制御の簡易化による、大幅な精度向上に貢献します。

高精度リニアステージ『トゥルー・ナノ・ポジショニング』

当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、
ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。
6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。

独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。

【特長】
■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz　の組み合わせ自由
■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ
■XY直交度1秒角のオプションあり
■真空オプションあり

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。（詳細を見る）

取扱会社高精度リニアステージ『ハイブリッド・ヘキサポッド』シリーズ

オーテックス株式会社

■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務

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