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最終更新日:2020-03-10 17:57:19.0

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DRPシリーズ 超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ 技術情報(概要)

基本情報DRPシリーズ 超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ 技術情報(概要)

超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ 技術情報(概要)

【掲載内容】※詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください。

この情報は、DRP シリーズ・バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。
DRP バルブは主に、製品の純度と信頼性が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。
この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、SEMI F57-0301 に基づいています。

【記述項目】
■ パーティクル発生
■ 表面粗さ
■ イオン性コンタミネーション
■ 金属性コンタミネーション
■ 総有機性炭素( TOC) 量
■ 超純水、 HCl、 スラリーを用いた信頼性テスト

取扱会社 DRPシリーズ 超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ 技術情報(概要)

スウェージロック・ジャパン

米国スウェージロック社で製造される業界最高レベルのバルブや継手など、豊富な品揃えの流体システム製品の販売。流体制御に関するトータル・ソリューション・プロバイダーとして配管ユニット製作サービス(Swagelok(R)カスタム・ソリューションズ)の提案。各種技術セミナーなどのサービスの提供。

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