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最終更新日:2015-12-15 10:37:35.0

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ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」

基本情報ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」

レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務などを行っているオーテックス株式会社の製品カタログです。

【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ3軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能・低ノイズ(3mVP-P)のため高い分解能が実現できます。
特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。

ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」

ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」 製品画像

Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ3軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能・低ノイズ(3mVP-P)のため高い分解能が実現できます。
特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。

【ラインナップ】
○対物レンズフォーカシングアクチュエーター
○高剛性オリエンテーションフリーステージ
○高剛性薄型高進直性ステージ(X,X-Yステージ)

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る

取扱会社 ピエゾ/ステージ 「高性能ピエゾステージ」

オーテックス株式会社

■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務

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