小型パリレン蒸着装置カタログC20S

本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。

本装置の特徴は、次の通りです。
・装置クリーニング及びメンテナンスが、容易です。
・基材との密着性を向上させる為の前処理がin-situで処理可能です。
・装置に付帯するPLCによりプロセスが実行可能です。成膜レシピのログもCSVファイルに出力することができます。
・装置のカスタマイズが可能です。

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