一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2017-08-11 14:10:10.0
【分析事例】ウォーターマーク原因調査
基本情報【分析事例】ウォーターマーク原因調査
TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定
分析の事例をご紹介します
【分析事例】ウォーターマーク原因調査
TOF-SIMSでは分子に由来する二次イオンを検出し、その分布を可視化します。異常箇所から検出されたイオン種から由来成分を推定することで、異常がどのプロセスで発生したかを調査することができます。
ウェハや製品上に異常箇所(変色・付着)が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】ウォーターマーク原因調査
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