一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2016-08-25 13:43:03.0
【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価
基本情報【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価
様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ
分析の事例をご紹介します
【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価
SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。
紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたことで、より高精度にAlGaN中不純物濃度を求めることができるようになりました。
UVセンサのSIMS分析を行い、ドーパントであるSi濃度を定量した事例を紹介します。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価
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