一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2016-03-01 12:12:00.0
【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量
基本情報【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量
赤外吸収法により非破壊で格子間酸素・炭素濃度を定量
分析の事例をご紹介します
【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量
シリコン単結晶中の格子間酸素及び炭素原子濃度をFT-IR分析により非破壊で求めることが可能です。透過法により測定したスペクトルの格子間酸素または炭素による吸収のピーク高さから算出します。
算出方法は、電子情報技術産業協会(JEITA: Japan Electronics and Information Technology Industries Association)により規格されています。
格子間酸素原子濃度を算出した事例を以下に示します。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量
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