一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日：2023-03-29 12:05:34.0
【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価_C0261
基本情報【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価_C0261
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、1）深さ方向分解能が良い、2）酸化物・窒化物・フッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、3）微量な状態の評価が可能、4）OHのモニターが可能、5）相対的なサンプル間の比較（膜厚・組成）が可能、6）イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捉えた評価が可能です。
以下に自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。
【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価
TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、（1）深さ方向分解能が良い、（2）酸化物・窒化物・ふッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、（3）微量な状態の評価が可能、（4）OHのモニターが可能、（5）相対的なサンプル間の比較（膜厚・組成）が可能、（6）イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。
自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：LSI・メモリ
分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚
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取扱会社 【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価_C0261
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