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最終更新日:2023-03-29 12:05:34.0

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  • カタログ発行日:2023/03/29

【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価_C0261

基本情報【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価_C0261

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、1)深さ方向分解能が良い、2)酸化物・窒化物・フッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、3)微量な状態の評価が可能、4)OHのモニターが可能、5)相対的なサンプル間の比較(膜厚・組成)が可能、6)イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捉えた評価が可能です。
以下に自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。

【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価

【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価 製品画像

TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、(1)深さ方向分解能が良い、(2)酸化物・窒化物・ふッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、(3)微量な状態の評価が可能、(4)OHのモニターが可能、(5)相対的なサンプル間の比較(膜厚・組成)が可能、(6)イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。
自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:LSI・メモリ
分析目的:化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚

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取扱会社 【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価_C0261

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