一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2016-03-10 10:01:26.0
【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価
基本情報【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価
異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能
分析の事例をご紹介します
【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価
異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。
CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状の洗浄残渣であると推定されます。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価
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