一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2016-08-25 13:25:24.0
【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析
基本情報【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析
化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
分析の事例をご紹介します
【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析
一般的にSIMSでは含有量が%を超える主成分レベルの元素の定量性は低いとされていますが、一次イオンにCs+を用いたMCs+(M:着目元素)検出モードを用いることで、主成分元素の深さ方向の組成分布を求めることが可能です。
AlGaAs中のAl,Gaについて、深さ方向の組成評価を行った例を示します。 (詳細を見る)
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