一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-07-29 14:07:37.0
【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量
基本情報【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量
異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能
分析の事例をご紹介します
【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量
SiN膜中のSi-H及びN-H濃度をFT-IR分析により求めることが可能です。SIMS等の分析でも、水素濃度を求めることは可能ですが、全水素濃度であり、Siと結合した水素及びNと結合した水素をそれぞれ求めることは出来ません。FT-IRではSi-H伸縮振動とN-H伸縮振動が別の位置にピークを持つため、それらのピークを利用して、それぞれの水素濃度を求めることが出来ます。
Si基板上SiN膜中のSi-H及びN-H濃度を求めた分析事例を下記に示します。 (詳細を見る)
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