一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2021-06-10 14:24:01.0
【分析事例】SiC表面の結合状態・膜厚評価_C0394
基本情報【分析事例】SiC表面の結合状態・膜厚評価_C0394
XPSによる詳細な結合状態評価と膜厚計算
XPSでは試料表面の化学結合状態を評価することができ、波形解析により更に詳細な評価をすることが可能です。加えて、波形解析結果に仮定パラメータを用いることで、表面酸化膜等の膜厚を算出することも可能です。
本資料では、SiC表面の組成・状態評価を行うとともに、取得したピーク強度から酸化膜厚を算出した事例をご紹介します。
取扱会社 【分析事例】SiC表面の結合状態・膜厚評価_C0394
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