熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ 製品カタログ

『AW-0505K-A-TS1-ANP』は、引張荷重200g以上という
高強度な熱接点固定部を実現し、さらに熱電対の経年変化による
精度ズレの影響を最小限に抑えることで再現性を向上させた
熱電対付シリコンウェーハです。

5インチウェーハに、アルミナ繊維スリーブを被覆した
熱電対センサを5本取り付けたタイプで、
熱電対センサの被覆に使用しているアルミナ繊維スリーブは
柔軟で軽量なため、手軽に取り扱えます。

【特長】
■アルミナ繊維スリーブを被覆
■精度ズレの影響を最小限に抑えられている
■高強度な熱接点固定部を実現　

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『AW-0505K-S-TS1-ANP』は、引張荷重200g以上という
高強度な熱接点固定部を実現し、さらに熱電対の経年変化による
精度ズレの影響を最小限に抑えることで再現性を向上させた
熱電対付シリコンウェーハです。

5インチウェーハに石英管を通した
熱電対センサを5本取り付けたタイプです。

熱電対センサの被覆に使用している石英管は
アルミナ繊維スリーブに比べ、低粉塵かつ低アウトガスであるため、
不純物の影響に敏感な用途でのご使用に適しています。

【特長】
■不純物の影響に敏感な用途での使用に最適
■高精度な温度測定の実現が可能
■石英管被覆で低粉塵かつ低アウトガス
■短納期対応(標準納期21日間)　

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）