株式会社東栄科学産業　総合カタログ

当社VSMは圧電素子を利用した加振機構を備え、電気回路パッケージング化により、小型・高性能・低価格を特徴としたVSMです。
エントリーモデルからフラッグシップモデルまで、豊富なラインナップを
ご用意しており、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。

【特徴】
■磁場強度～３Ｔまでのラインナップを揃え、電磁石の冷却は全モデル空冷式（チラー不要）の省エネ設計。
■試料を装置へ設置後は、PCからの制御でオート測定が可能。
■低残留電磁石モデルは、高精度・高分解能な磁場制御が可能。
■NI LabVIEWで独自開発したソフトウェア

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当社のプローバは、マグネット搭載を考慮した非磁性プローバーのパイオニアとしてデバイスの測定目的を考慮し、機能を充実させました。

磁気メモリ・磁気センサ・磁気ストレージなど、それぞれの測定デバイスや測定技術に適したモデルをラインナップしております。

フルオート機種は、プローブの角度・位置合わせの自動化・自動アライメント・ＣtoＣ・自動プロファイル・大口径ウエハ用自動位置補正など高機能化を実現。

また、テスタ製作も自社で行い、一貫した計測テストシステムを提供いたします。

【特長】
■基本は完全非磁性の構造
■電子コンパスのウエハ評価は徹底した非磁性化を行い、3軸コイル搭載
■非磁性化を保ちながら－40℃～＋200℃の温度測定可能
■低残留磁界技術を用い、面内磁界・垂直磁界・全方位磁界印加用

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『3次元空間磁界プロファイリング』は、直流磁界・交流磁界・高周波磁界を
3次元測定を行い可視化し、測定物の形状をトレースしCADデータなしで測定物を
近似測定できる機器です。

独自開発した3次元カラービュアーが測定物から漏れ出る磁界を鮮明に表現
いたします。

DCプローブと高周波プローブ用いLSIや集積化されたボード全体の伝送線路の
電流分布や磁界・電界のシールド効果を検証することも可能であり、
デバイス開発から実装開発や品質管理、故障の原因検証と幅広く活用できます。

【特長】
■微細センシングにより空間磁界を正確にプロット
■微小空間や細かいメッシュ状の測定が可能
■測定物の形をセンサーが読み取り
■幅広い空間磁界の測定が可能

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『高感度薄膜磁歪測定装置』は、コンパクトな本体をそのままに、数nmの
超磁性薄膜の測定が可能になった測定装置です。

新開発の超高感度用長光路ユニットの採用により、さらなる高感度測定が
再現性良く測定できるようになりました。

昨今のGMRやTMRなどの超薄膜のゼロ磁歪測定にお役立て下さい。

【特長】
■コンパクト
■高い再現性
■高感度測定

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