マルチターン飛行時間型質量分析装置『infiTOF-ei』

『infiTOF-ei』は、同一飛行空間を複数回周回させることで、長い飛行距離
を得て、小型でありながら高い質量分解能を達成することができる、
飛行時間型質量分析計です。

分解能は飛行距離に比例するため、必要な分解能が得られるまで周回を重ね、
出射電極をONにすることで検出器に取り込み、イオンの到達時間を正確に
計測します。

同一周回を異なる質量（速度）のイオンが飛行するため、軽いイオンが
重いイオンを追い越してしまい、データの信憑性を損ないますので、追い越しや
周回遅れが生じない様、分析対象外のイオンを除去します。

【特長】
■小型
■高い質量分解能
■分析対象外のイオンは除去

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

infiTOF-UHVは、現行製品であるinfiTOFをベースに、半導体プロセス、燃料電池、材料、燃焼モニタリング等、リアルタイム分析に特化して開発された高分解能飛行時間型質量分析計です。真空容器を含め接ガス部分にはチタン材を用いることで耐腐食性を向上させると共に、真空特性向上にも寄与しています。

本製品は、水素原子(m/z 1)から分析でき、ヘリウム(4.0026 u)と重水素(4.0282 u)も簡単に分離する事が可能です。電池から放出される微量ガスのモニタリングや、半導体プロセスにおける不純物の混入、新たな化合物生成による悪影響等、想定外の事象分析に威力を発揮します。

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい （詳細を見る）