アクティブ除振XYZステージ

白色干渉顕微鏡などの性能を100％引き出し、大きなワークを意のままに操る

昭和サイエンスのアクティブ除振XYZステージは、
アクティブ除振ユニットVAAV空圧タイプが設置床の微振動を除去し、
揺れの無い鮮明な画像が得られます。

一視野に収まらない大きなワークをエリアごとに微細に観察することができ
ます。また、Z軸ステージに２つの顕微鏡を搭載することができます。

【特長】
■設置床の微振動を除去
■大きなワークも楽々操作でエリアごとに微細に観察
■複数の顕微鏡を組み込み可能
■ステージ移動時の位置、姿勢の変動を極力少なく抑える
■広帯域に共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。