一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-03-21 16:19:04.0
【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
基本情報【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
サブμmオーダーの異物、微小領域の定性・イメージ分析が可能
分析の事例をご紹介します
【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
TOF-SIMSは、着目箇所を局所的に分析して得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時に可能なことから、異物や微小領域の評価に有効です。
本資料は、サブμmオーダーの微小領域の分析例をまとめます。
層構造の試料上にFIBでスパッタ加工を行ったサンプルを、TOF-SIMSで測定をしました。サブμmオーダーの微小領域を評価をすることが出来ています。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析
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