チップ移載装置『ACT-1000』

把持ピックアップ方式による新型チップソーター！

『ACT-1000』は、マニピュレータハンドによる微細チップ用オート
マチックソーターです。

把持ピックアップ方式と吸着ピックアップ方式に対応しており、
表面非接触ピックアップ機構により微小チップ（100μｍ以下）や
ウェハー to トレー、トレー to トレー、ウェハー to GEL Pack等の
チップ移載にも対応しています。

化合物半導体等の脆弱チップのハンドリングに最適な製品です。

【特長】
■把持ピックアップ方式と吸着ピックアップ方式に対応
■表面非接触ピックアップ機構により微小チップ（100μｍ以下）にも
　対応可能
■ウェハー to トレー、トレー to トレー、ウェハー to GEL Pack等の
　チップ移載に対応
■化合物半導体等の脆弱チップのハンドリングに最適
■8インチウェハー対応で巾600ｍｍの超コンパクト設計

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。