株式会社テクニカルフィット
最終更新日：2016-11-29 16:44:21.0
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ワークの表裏面に触れずに表裏面と端面洗浄する装置
【装置概要】 研磨後のウエハを界面活性剤、純水スクラブで除去後、メガソニックシャワー、リンス、スピン乾燥の順で行う枚葉洗浄装置【用途例】 研磨後洗浄装置
■各種装置の開発、製造、販売 ■各種装置に付帯関連する一切の業務
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