１チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置（多目的型スクラブ洗浄）

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除くことが可能！省スペースなので研究開発に好適

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置。１チャンバーの中で洗浄が完結できる省スペース型。