株式会社SCREEN SPE クォーツ　事業紹介

株式会社SCREEN SPE クォーツは、主に石英ガラス製品の加工事業及びスライス
事業を行なっている会社です。

当社は、半導体製造における課題を高次元でクリアすることで、常に
高い顧客満足を実現してきました。
また、製品を迅速に提供するために、サービスステーションを全国に
配置するなど、万全の体制を構築しています。

その他、時代のニーズを満たす新しい製造ラインの充実を図るなど、
幅広い生産対応でお客さまのご要望にお応えします。

【事業内容】
■石英ガラス製品の加工事業
　・半導体洗浄装置向け石英槽および関連部品の製作加工
　・半導体製造装置向け石英製品の製作加工
■スライス事業
　・液晶用大型マスクブランクス材料の切断加工

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

株式会社SCREEN SPE クォーツは『石英加工』を承っております。

石英槽のほか、搬送ユニットのロボットチャックやウェハーガイドなど、
繊細なウエハーに直接触れる高精度・高品質な製品を供給。

また、薬液処理槽において薬液を加熱するインラインヒーターなど、
多彩な石英ガラス製品も開発・製造しています。

【特長】
■ボートやチューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の
　開発・製造を積極的に展開
■図面と全行程の内容をデータ化して長期保存
■メンテナンスに迅速に対応するとともに、追加オーダーに対しても同精度の
　製品を供給
■データには形成に携わった技術者と検査者の全氏名を記録

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

株式会社SCREEN SPE クォーツは『大型石英加工』を承っております。

半導体製造プロセスで使用される炉芯管(アウター、インナー、二重管など)や
ボート・キャップなど、300mmウエハーに対応する石英加工品を供給。

また、高純度と優れた耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、
直径1,000mmを超える大型ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・
アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなど、
確かな加工技術と品質管理の下、多彩な石英ガラス製品を開発・製造しています。

【特長】
■先端設備でさまざまなニーズに対応
・大小のさまざまなチューブ製品に対応するため自動成形旋盤を導入
・溶融石英よりもはるかに純度が高い合成石英製品の製造ラインを確立
■高い技術力と先端の生産設備が生み出す高精度・高耐久の大型チャンバー
・角型または大口径チューブなど、従来は加工が困難だった石英製の
　大型容器(BIG CHAMBER)の製造を実現

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