バキュームプロダクツ 総合カタログ 「真空配管用ベローズ・フレキ・部品」VP-2007-7

テクノフレックス社の真空配管用部品カタログを
お問い合わせいただいた方へ無料で進呈いたします。

【掲載内容】
●フレキシブルホース
●ＶＧＦ真空フランジ型（ＪＩＳ）
●ＶＩＳ真空フランジ型（ＩＳＯ）
●成形ベローズ
●真空コンポーネンツ
その他多数細かい仕様が掲載されています。

カタログダウンロードから目次と一部がご覧いただけます。
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テクノフレックスでは、真空配管用部品『CFP クランプフランジ』を
取り扱っています。

JIS/ISOの各種真空継手。
KF/NW 20mm(S)、30mm(L)、50mm(LL)の3タイプをご用意しております。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■JIS/ISOの各種真空継手
■KF/NW 20mm(S)、30mm(L)、50mm(LL)の3タイプをご用意
■エラストマーシール

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

テクノフレックスでは、真空配管用部品『CF コンフラットフランジ』を
取り扱っています。

固定型・回転型・キリアナ型・タップ型の4種類をご用意。
全て金属製の継手であるため高温のベーキングが可能となっております。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■フランジは4種類(固定・回転・キリアナ・タップ型)
■銅パッキンシール
■全て金属製の継手であるため高温のベーキングが可能

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当社では、真空配管用フレキ『VPA-TP パイプエンド型内面研磨品』を
取り扱っています。

チューブ内面の山、谷含めた研磨が可能。
チューブの材質は316L SS、パイプの材質は316L SS(真空二重溶解材)です。

また内面粗度は、Rz 0.6μ以下となっております。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■チューブ内面の山、谷含めた研磨に好適
■内面粗度 Rz 0.6μ以下
■ヘリウムリーク量：5×10-9 Pa・m3/s以下
■標準寸法：200,300,400(mm)
■材質：チューブ 316L SS、パイプ 316L SS(真空二重溶解材)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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『VGF』は、真空フランジ型(JIS)のフレキシブルメタルホースです。

JIS規格に沿っており、低真空から高真空まで対応可能。

標準品はVG固定、VF回転となります。
VF側を固定にする場合はご指示願います。

【特長】
■標準品はVG固定、VF回転
■真空フランジはVG、VF
■フランジ規格　JIS B 2290　真空フランジ
■JIS規格に沿っている
■低真空から高真空まで対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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『VNW』は、クランプフランジ型のフレキシブルメタルホースです。

チューブとフランジ溶接部の熱応力は真空焼鈍により除去。
ボルト・ナットを使用せず脱着が簡単にできます。

フランジ・クランプ・センターリング(O-リング付)でセットとなっています。

【特長】
■ボルト・ナットを使用せず脱着が簡単に可能
■フランジ・クランプ・センターリング(O-リング付)でセット
■チューブとフランジ溶接部の熱応力は真空焼鈍により除去

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『VCF』は、コンフラットフランジ型のフレキシブルメタルホースです。

金属ガスケット仕様で、片側固定、片側回転となります。
また、超高真空用として使用出来ます。

ソフトタイプとハードタイプをラインアップしております。

【特長】
■超高真空用として使用出来る
■金属ガスケット仕様
■片側固定、片側回転

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『VIS』は、真空フランジ型(ISO)のフレキシブルメタルホースです。

ISOフランジは、ISO-KFの規格フランジ。
クロークランプとアウターリング(または、センターリング)で接続します。

主に大口径の真空ラインの接続に適し、装置接続に用いられます。

【特長】
■クロークランプとアウターリング(または、センターリング)で接続
■ISOフランジは、ISO-KFの規格フランジ
■主に大口径の真空ラインの接続に適し、装置接続に用いられる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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『VNWB』は、クランプフランジ型ブレイド仕様の
真空配管用フレキシブルメタルホースです。

ヘリウムリーク量は、5×10^-8Pa・m3/s以下。
製作全長はMAX. 3000mmとなっております。

ボルト・ナットを使用せずに脱着が可能です。

【材質】
■ボルト・ナット不要で脱着が簡単
■ヘリウムリーク量：5×10^-8Pa・m3/s以下
■製作全長：MAX. 3000mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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テクノフレックスでは、真空配管用部品『BFP ブランクフランジ』を
取り扱っています。

当製品は、NW継手を閉止するフランジとなっており、
呼び径 KF/NW 10～250まで対応可能です。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■真空配管用部品 NW継手を閉止するフランジ
■呼び径 KF/NW 10～250まで対応可能

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『CLP クランプ』を
取り扱っています。

KF/NW継手の接続に使用。
本体材質は、アルミニウムとなっております。

また、大口径KF/NW継手の接続に使用する「CLPチェーン式クランプ 」や、
「CLP-SS ステンレスクランプ」、「CLP-BH バルクヘッドクランプ」も
ご用意しております。

【CLP クランプ　特長】
■ステンレス製の蝶ナットもご用意
■KF/NW継手の接続に使用
■本体材質はアルミニウム

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『COP センターリング』を
取り扱っています。

材質は、316L SSとフッ素ゴムとなっており、各種口径も揃っております。

この他にも当社では、「AUT アウターリング付センターリング」をはじめ、
「COP-M メッシュ付センターリング」や「OR O-リング」など
4種類のガスケットをご用意しています。

【ラインアップ】
■COP センターリング
■AUT アウターリング付センターリング
■COP-M メッシュ付センターリング
■OR O-リング

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『CLW クロークランプ』を
取り扱っています。

ISO-MF継手の接続に使用。
アルミニウムとステンレス素材をご用意しております。

「CLW-AL クロークランプ ダブル・AL」は、シングルタイプも対応可能です。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【ラインアップ】
■CLW-AL クロークランプ ダブル・AL
・CLW-AL-08
・CLW-AL-10
■CLW-SS クロークランプ ダブル・SS
・CLW-SS-10

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『アダプター』を
取り扱っています。

クリーンで内面が平滑、ボルト・ナットが不要で脱着が簡単な継手です。

当社では「フランジアダプター」をはじめ、「パイプアダプター」、
「メタルシール継手アダプター」の3種類のNW/KFフランジのアダプターを
ご用意しています。

【特長】
■ボルト・ナットが不要
■脱着が簡単
■クリーンで内面が平滑

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『RP レジューサ』を
取り扱っています。

異径継手の接続に使用でき、クリーンで内面が平滑。
ボルト・ナットが不要で脱着が簡単な継手です。

当社では、特殊レジューサも製作致します。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■異径継手の接続に使用
■NW/KF　変換継手
■ボルト・ナットが不要
■脱着が簡単
■クリーンで内面が平滑

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『GP ゲージポート』を
取り扱っています。

真空計などの配管や真空チャンバーに取り付けるための継手で、
クリーンで内面が平滑。ボルト・ナットが不要で脱着が簡単です。

閉止栓はオプションとなっており、各種フランジ取付けタイプも
製作致します。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■ボルト・ナットが不要で脱着が簡単
■クリーンで内面が平滑
■2種類をラインアップ
■各種フランジ取付けタイプも製作可能
■閉止栓はオプション

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株式会社テクノフレックスでは、真空配管用部品『LP エルボ』を
取り扱っています。

クリーンで内面が平滑となっており、ボルト・ナットが不要で脱着が簡単。

この他にも当社では「TP ティー」をはじめ、「XP クロス」「NP ニップル」
の4種類の配管・分岐管をご用意しています。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■ボルト・ナットが不要
■脱着が簡単
■クリーンで内面が平滑
■4種類の配管・分岐管をご用意

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テクノフレックスでは、真空配管用部品『ISO-K/ISO-F フランジ』を
取り扱っています。

クロークランプ型とボルト型の2種類をご用意。
ISO1690に対応させた真空継手となっております。

また当社では、ブランクフランジタイプも取り揃えております。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■ISO1690に対応させた真空継手
■エラストマーシール
■ISO-K/MF：クロークランプ型フランジ
■ISO-F/BT：ボルト型フランジ

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テクノフレックスでは、真空配管用部品『VG/VF 真空フランジ型』を
取り扱っています。

低真空から高真空領域までカバー。
JIS規格(JIS B 2290)に定められた寸法及び品質のフランジとなっております。

また、当社ではブランクフランジタイプも取り揃えております。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■エラストマーシール
■Oリング溝がないフランジ(VG)
■Oリング溝があるフランジ(VF)
■低真空から高真空領域

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『VPA(B)-JCR』は、パイプエンド(ブレイド仕様)+継手接続型の
フレキシブルメタルホースです。

ブレイドなしのAタイプと、ブレイドありのBタイプがあります。
さらに、両端オス(MM)、メス(FF)、オスメス(MF)の3種類をご用意。

各種メーカーのメタルガスケットシール継手が取り付け可能です。

【特長】
■ブレイドなし(Aタイプ)ブレイドあり(Bタイプ)
■両端オス(MM)、メス(FF)、オスメス(MF)の3種類
■各種メーカーのメタルガスケットシール継手が取り付け可能
■金属ガスケット仕様

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『VBN/VBF/VBC/VBP』は、低反力・高寿命・高清浄と3つ揃った
真空配管用成形ベローズです。

「VBF」は真空フランジ型となっており、材質はチューブが316L SS、
フランジが304 SSです。

この他にもクランプフランジ型の「VBN」をはじめ、「VBC」、「VBP」の
4種類の成形ベローズをご用意しております。

【ラインアップ】
■VBN クランプフランジ型
■VBF 真空フランジ型
■VBC コンフラットフランジ型
■VBP パイプエンド型

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『VPA』は、パイプエンド型のフレキシブルメタルホースです。

ブレイドなしのAタイプ。スウェジロックやパイプ継手等の金具で取付可能です。

最終工程で真空焼鈍を施工により残留ガスが少なくなっています。

材質は、チューブ・パイプともに316L SSです。

【特長】
■スウェジロックやパイプ継手等の金具で取付可能
■ブレイドなし(Aタイプ)
■最終工程で真空焼鈍を施工により残留ガスが少なくなる

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『VPB』は、パイプエンド型ブレイド仕様のフレキシブルメタルホースです。

ブレイドありのBタイプで、最終工程で真空焼鈍を施工により残留ガスが
少なくなっています。

スウェジロック、パイプ継手等の金具で取付可能。

研磨品(Ry0.6μ以下)を御入用の方は形式番号にTP(テクノポリッシュ)を記入願います。

【特長】
■ブレイドあり(Bタイプ)
■スウェジロック、パイプ継手等の金具で取付可能
■最終工程で真空焼鈍を施工により残留ガスが少なくなる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータージャケットシステムは、こうした特殊ガスの配管設備における温度調節を低価格で実現し、長期のランニングによる配管洗浄の手間といったメンテナンスコストの削減に貢献します。

【特徴】
○コネクターの使用により、発熱負荷がかかりにくく、断線対策が可能！
○内部にサーマルと温度ヒューズを内蔵し、安全性が向上！
○配管・バルブ・フレキなどの設備のレイアウトにあわせて、
　サイズや長さもご要望通りに都度設計、製作！
○マジックテープによる簡単装着が可能！
○熱電対を内蔵したタイプと非内蔵タイプの2種類をご用意！
○ヒーター取付まで一環した施工も対応できます！

●その他機能や詳細については、お問い合わせください。 （詳細を見る）