マルチターン飛行時間型質量分析装置『infiTOF-UHV』

半導体プロセス、燃料電池、材料、燃焼モニタリング等、リアルタイム分析に特化して開発された高分解能飛行時間型質量分析計です

現行製品であるinfiTOFをベースに、半導体プロセス、燃料電池、材料、燃焼モニタリング等、リアルタイム分析に特化して開発された高分解能飛行時間型質量分析計です。真空容器を含め接ガス部分にはチタン材を用いることで耐腐食性を向上させると共に、真空特性向上にも寄与しています。

本製品は、水素原子(m/z 1)から分析でき、ヘリウム(4.0026 u)と重水素(4.0282 u)も簡単に分離する事が可能です。電池から放出される微量ガスのモニタリングや、半導体プロセスにおける不純物の混入、新たな化合物生成による悪影響等、想定外の事象分析に威力を発揮します。