マイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』

最大5kWと高出力！安定な高密度プラズマを発生できるダイヤモンド成膜装置！

『MDD-2016』は、高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および
自動整合器（4Eチューナ） により、安定な高密度プラズマを発生させ、
高品質ダイヤモンドを高速合成できる装置です。

独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を
制御できます。

マイクロ波電源はマグネトロン発振（ 連続波、パルス波、高安定スペクトル）
およびソリッドステート発振など、当社電源ラインアップからお選び頂けます。

【特長】
■高出力（最大5kW）
■高密度プラズマを発生
■高品質ダイヤモンドを高速合成

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。