オゾン除害排気ユニット

高性能オゾン分解用フィルターと排気用ファンを内蔵。UVオゾン洗浄改質装置からの排気オゾンを分解します。高性能高寿命製品です。

殺菌や脱臭、洗浄、改質などでオゾンを利用した際にオゾンガスの排気には困ります。そのまま排気すればダクトやファンなどが腐食し危険です。屋外へ排気すれば拡散はしますが排気口付近は高濃度のオゾンガスなので安全ではありません。工場ではドラフターやスクラバーなどで酸排気処理いたしますが工場以外ではオゾンフィルター等で除外する方法が一般的です。
従来のオゾンフィルター分解器は高濃度のオゾンガスを短時間で処理するにはコストも場所も要する大きな容量が必要でした。小型のオゾン利用装置でオゾンフィルターを使用するには装置内にオゾンフィルター配置してオゾンガスが薄まるまで循環させる方式が一般的です。弊社は半導体製造装置などで培われた豊富な技術と経験から小型サイズのオゾンフィルターながら高性能な為、装置内のオゾンガスを循環させることなくワンパスで排気処理可能な排気オゾンガス濃度0.1ppm以下にする排気ファン内蔵オゾン分解ユニットです。この方式のメリットは循環処理が不要な為、装置全体のプロセス時間が短時間となります。