カタログ発行日：2021/4/20

【分析事例】SiN膜中の金属汚染分析_C0465

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基本情報【分析事例】SiN膜中の金属汚染分析_C0465

ICP-MSによる高感度分析

Siウエハ上のSiN膜（Si3N4）を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。
そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックスの影響なくSiN膜中不純物金属元素の分析を可能としました。市販品のSiN膜付きSiウエハを用いてICP-MSによる高感度分析を実施した事例を挙げます。

取扱会社【分析事例】SiN膜中の金属汚染分析_C0465

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