ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

省エネ「だけじゃない」！世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現

『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた
ルーツ型ドライ真空ポンプです。

軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。

「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの
搭載も可能です。

【特長】
■プロセス耐性：ポンプ高温化、パージ増量
■消費電力0.7kW：プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。