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最終更新日:2013-08-23 16:49:38.0

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FS-1050Xカタログ

基本情報FS-1050Xカタログ

FS-1050Xカタログ

0.1/0.05μm分解能の制御を可能にした
ストローク50mmのフィードバックステージ

【特徴】
○独自開発のリニアスケールを内蔵していながら
 薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:120mm×120mm
○テーブル移動量:50mm
○繰返し位置決め精度:±0.1um,±0.2um
○走り平行度:10μm
○最小分解能:0.05um,0.1um
○最大移動速度:10mm/sec
○ボールネジ:φ6mm、リード1mm
○移動ガイド:クロスローラガイド
○駆動モータ:□28mm−5相ステッピングモータ

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY 製品画像

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。

自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ (詳細を見る

取扱会社 FS-1050Xカタログ

シグマ光機株式会社

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