シグマ光機株式会社
最終更新日：2013-08-23 16:47:53.0
FS-1120θカタログ
基本情報FS-1120θカタログ
FS-1120θカタログ
独自開発したリニアスケールを内蔵していながら
薄型で軽量な設計を実現した、微小回転用フィードバックステージ
【特徴】
○フルクローズドループ制御により
高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：120mm×120mm
○テーブル移動量：±4゜
○繰返し位置決め精度：±0.0002゜,±0.0001゜
○走り平行度：10μm
○最小分解能：0.0001゜,0.00005゜
○最大移動速度：10゜/sec
○ボールネジ：φ6mm、リード1mm
○移動ガイド：クロスローラリング
○駆動モータ：□28mm—5相ステッピングモータ
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
取扱会社 FS-1120θカタログ
■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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