『X・Y・θアライメントステージ』

3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！

『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動
アクチュエータ“ミリオンアクチュエータ”を採用することで高精度送りを
実現した製品です。

テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。
高剛性と低振動の両立を実現しました。

【特長】
■高精度
■高剛性
■超薄型・シンプル構造
・テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。