一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2017-09-21 13:23:46.0
【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価
基本情報【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価
薄膜成分の付着量を試料間で比較
分析の事例をご紹介します
【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価
蛍光X線分析(XRF)では、元素分布の簡便な評価が可能です。 本事例では、蒸着装置を用いて任意量のAuを成膜した4inchのSiウエハA・Bを試料として、Auの分布および総付着量の比較を行いました。 面分析の結果より、Auの分布状態が確認できました(図1~4)。また、各画素から得られたXRFスペクトルのAu強度より付着量を比較し、ウエハBはAより多いことを確認しました(図5)。 (詳細を見る)
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