エルミネット株式会社
最終更新日:2019-04-17 09:52:59.0
プラズマクリーニング装置『GV10x』
基本情報プラズマクリーニング装置『GV10x』
CO2とH2Oに変化させ排気除去!電子顕微鏡等に好適なプラズマクリーナー
『GV10x』は、電子顕微鏡、EPMA装置、表面分析装置等に適した
クリーニング装置です。
一般的なプラズマクリーナーにおける動的スパッタエッチング洗浄
とは異なり、「GV10x」のダウンストリーミングプラズマ処理は穏やかな
化学エッチングを行います。
このプロセスは、真空チェンバー内の炭素分子およびハイドロカーボンを
除去する革新的な手法です。
【特長】
■ダウンストリーミングプラズマ処理は穏やかな化学エッチングを行う
■真空チェンバー内の炭素分子およびハイドロカーボンを除去
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空チェンバー用プラズマクリーニング装置『GV10x型』
『GV10x型』は、精密機械器具、電気・電子機械器具の製造、組み立て、賃貸、補修、輸出入及び販売などを行っている、エルミネットが取り扱う製品です。SEM・TEM・XPS・SIMS等のチェンバー内の蓄積された有機系コンタミネーション除去で、真空度の復帰からTEMグリッド、支持膜の親水化処理がこの1台で容易に行えます。
【特長】
■蓄積された有機系コンタミネーション除去
■TEMグリッドや支持膜の親水化処理が1台で可能
※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい (詳細を見る)
取扱会社 プラズマクリーニング装置『GV10x』
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