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最終更新日：2017-09-15 12:51:22.0

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  • カタログ発行日：2017/9/15

ウエハホットチャック　PH302ウエハホットチャック　PH302

基本情報ウエハホットチャック　PH302

最高温度300℃対応！！

ウエハ、ガラス基板など　薄型のワークを均一に加熱ができ、ワークは真空吸着により固定しているのでワークにに固定によるストレスを与えません。
MSA　デジタル温度コントローラーにて精密な温度制御が可能。
また、OEMやカスタム等対応いたします。

プレートサイズ
□200ｍｍ×200ｍｍ
温度制御範囲
室温から３００℃まで

取扱会社 ウエハホットチャック　PH302

株式会社MSAファクトリー

数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。

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