株式会社MSAファクトリー
最終更新日:2017-09-15 12:51:22.0
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最高温度300℃対応!!
ウエハ、ガラス基板など 薄型のワークを均一に加熱ができ、ワークは真空吸着により固定しているのでワークにに固定によるストレスを与えません。MSA デジタル温度コントローラーにて精密な温度制御が可能。また、OEMやカスタム等対応いたします。プレートサイズ□200mm×200mm温度制御範囲室温から300℃まで
数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。
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