ウエハホットチャック　PH-201Cウエハホットチャック　PH-201C

小型ウエハホットチャック サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能！！

最高温度　400℃対応
トッププレートの構造により、
プレートの交換により数種類のワーク対応が可能

ウエハ、ガラス基板など薄型のワークを均一に加熱ができ、ワークは真空吸着により固定することでワークにストレスを与えない構造になっております。

仕様
温度制御範囲　室温から400℃
チャック面サイズ　Φ6ｍｍ